机电一体化技术及其应用研究

ЛњЕчвЛЬхЛЏММЪѕМАЦфгІгУбаОП1 ЛњЕчвЛЬхЛЏММЪѕЗЂеЙЁЁЁЁЛњЕчвЛЬхЛЏЪЧЛњаЕЁЂЮЂЁЂПижЦЁЂЛњЁЂаХЯЂДІРэЕШЖрбЇПЦЕФНЛВцШкКЯЃЌЦфЗЂеЙКЭНјВНгаРЕгкЯрЙиММЪѕЕФНјВНгыЗЂеЙЃЌЦфжївЊЗЂеЙЗНЯђгаЪ§зжЛЏЁЂжЧФмЛЏЁЂФЃПщЛЏЁЂЛЏЁЂШЫадЛЏЁЂЮЂаЭЛЏЁЂМЏГЩЛЏЁЂДјдДЛЏКЭТЬЩЋЛЏЁЃ1.1 Ъ§зжЛЏЁЁЁЁЮЂПижЦЦїМАЦфЗЂеЙЕьЖЈСЫЛњЕчВњЦЗЪ§зжЛЏЕФЛљДЁЃЌШчВЛЖЯЗЂеЙЕФЪ§ПиЛњДВКЭЛњЦїШЫЃЛЖјМЦЫуЛњЭјТчЕФбИЫйсШЦ№ЃЌЮЊЪ§зжЛЏЩшМЦгыжЦдьЦЬЦНСЫЕРТЗЃЌШчащФтЩшМЦЁЂМЦЫуЛњМЏГЩжЦдьЕШЁЃЪ§зжЛЏвЊЧѓЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗЕФШэМўОпгаИпПЩППадЁЂвзВйзїадЁЂПЩЮЌЛЄадЁЂздеяЖЯФмСІвдМАгбКУШЫЛњНчУцЁЃЪ§зжЛЏЕФЪЕЯжНЋБугкдЖГЬВйзїЁЂеяЖЯКЭаоИДЁЃ1.2 жЧФмЛЏЁЁЁЁМДвЊЧѓЛњЕчВњЦЗгавЛЖЈЕФжЧФм,ЪЙЫќОпгаРрЫЦШЫЕФТпМ­ЫМПМЁЂХаЖЯЭЦРэЁЂзджїОіВпЕШФмСІЁЃР§ШчдкCNCЪ§ПиЛњДВЩЯдіМгШЫЛњЖдЛАЙІФмЃЌЩшжУжЧФмI/OНгПкКЭжЧФмЙЄвеЪ§ОнПтЃЌЛсИјЪЙгУЁЂВйзїКЭЮЌЛЄДјРДМЋДѓЕФЗНБуЁЃЫцзХФЃК§ПижЦЁЂЩёО­ЭјТчЁЂЛвЩЋЁЂаЁВЈРэТлЁЂЛьучгыЗжВэЕШШЫЙЄжЧФмММЪѕЕФНјВНгыЗЂеЙЃЌЮЊЛњЕчвЛЬхЛЏММЪѕЗЂеЙПЊБйСЫЙуРЋЬьЕиЁЃ1.3 ФЃПщЛЏЁЁЁЁгЩгкЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗжжРрКЭЩњВњГЇМвЗБЖрЃЌбажЦКЭПЊЗЂОпгаБъзМЛњаЕНгПкЁЂЖЏСІНгПкЁЂЛЗОГНгПкЕФЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗЕЅдЊФЃПщЪЧвЛЯюИДдгЖјгаЧАЭОЕФЙЄзїЁЃШчбажЦОпгаМЏМѕЫйЁЂБфЦЕЕїЫйЕчЛњвЛЬхЕФЖЏСІЧ§ЖЏЕЅдЊЃЛОпгаЪгОѕЁЂЭМЯёДІРэЁЂЪЖБ№КЭВтОрЕШЙІФмЕФЕчЛњвЛЬхПижЦЕЅдЊЕШЁЃетбљЃЌдкВњЦЗПЊЗЂЩшМЦЪБЃЌПЩвдРћгУетаЉБъзМФЃПщЛЏЕЅдЊбИЫйПЊЗЂГіаТЕФВњЦЗЁЃ1.4 ЭјТчЛЏЁЁЁЁгЩгкЭјТчЕФЦеМАЃЌЛљгкЭјТчЕФИїжждЖГЬПижЦКЭМрЪгММЪѕЗНаЫЮДАЌЁЃЖјдЖГЬПижЦЕФжеЖЫЩшБИБОЩэОЭЪЧЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗЃЌЯжГЁзмЯпКЭОжгђЭјММЪѕЪЙМвгУЕчЦїЭјТчЛЏГЩЮЊПЩФмЃЌРћгУМвЭЅЭјТчАбИїжжМвгУЕчЦїСЌНгГЩвдМЦЫуЛњЮЊжааФЕФМЦЫуЛњМЏГЩМвгУЕчЦїЯЕЭГЃЌЪЙШЫУЧдкМвРяПЩГфЗжЯэЪмИїжжИпММЪѕДјРДЕФКУДІЃЌвђДЫЃЌЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗЮовЩгІГЏЭјТчЛЏЗНЯђЗЂеЙЁЃ1.5 ШЫадЛЏЁЁЁЁЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗЕФзюжеЪЙгУЖдЯѓЪЧШЫЃЌШчКЮИјЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗИГгшШЫЕФжЧФмЁЂЧщИаКЭШЫадЯдЕУгњРДгњживЊЃЌЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗГ§СЫЭъЩЦЕФадФмЭтЃЌЛЙвЊЧѓдкЩЋВЪЁЂдьаЭЕШЗНУцгыЛЗОГЯра­ЕїЃЌЪЙгУетаЉВњЦЗЃЌЖдШЫРДЫЕЛЙЪЧвЛжжЯэЪмЃЌШчМвгУЛњЦїШЫЕФзюИпОГНчОЭЪЧШЫЛњвЛЬхЛЏЁЃ1.6 ЮЂаЭЛЏЁЁЁЁЮЂаЭЛЏЪЧОЋЯИМгЙЄММЪѕЗЂеЙЕФБиШЛЃЌвВЪЧЬсИпаЇТЪЕФашвЊЁЃЮЂЛњЕчЯЕЭГ(Micro Electronic Mechanical SystemsЃЌМђГЦMEMS)ЪЧжИПЩХњСПжЦзїЕФЃЌМЏЮЂаЭЛњЙЙЁЂЮЂаЭДЋИаЦїЁЂЮЂаЭжДааЦївдМАаХКХДІРэКЭПижЦЕчТЗЃЌжБжСНгПкЁЂЭЈаХКЭЕчдДЕШгквЛЬхЕФЮЂаЭЦїМўЛђЯЕЭГЁЃзд1986ФъУРЙњЫЙЬЙИЃДѓбЇбажЦГіЕквЛИівНгУЮЂЬНеыЃЌ1988ФъУРЙњМгжнДѓбЇBerkeleyЗжаЃбажЦГіЕквЛИіЮЂЕчЛњвдРДЃЌЙњФкЭтдкMEMSЙЄвеЁЂВФСЯвдМАЮЂЙлЛњРэЗНУцШЁЕУСЫКмДѓНјеЙЃЌПЊЗЂГіИїжжMEMSЦїМўКЭЯЕЭГЃЌШчИїжжЮЂаЭДЋИаЦїЃЈбЙСІДЋИаЦїЁЂЮЂМгЫйЖШМЦЁЂЮЂДЅОѕДЋИаЦїЃЉЃЌИїжжЮЂЙЙМўЃЈЮЂФЄЁЂЮЂСЛЁЂЮЂЬНеыЁЂЮЂСЌИЫЁЂЮЂГнТжЁЂЮЂжсГаЁЂЮЂБУЁЂЮЂЕЏЛЩвдМАЮЂЛњЦїШЫЕШЃЉЁЃ1.7 МЏГЩЛЏЁЁЁЁМЏГЩЛЏМШАќКЌИїжжММЪѕЕФЯрЛЅЩјЭИЁЂЯрЛЅШкКЯКЭИїжжВњЦЗВЛЭЌНсЙЙЕФгХЛЏгыИДКЯЃЌгжАќКЌдкЩњВњЙ§ГЬжаЭЌЪБДІРэМгЙЄЁЂзАХфЁЂМьВтЁЂЙмРэЕШЖржжЙЄађЁЃЮЊСЫЪЕЯжЖрЦЗжжЁЂаЁХњСПЩњВњЕФздЖЏЛЏгыИпаЇТЪЃЌгІЪЙЯЕЭГОпгаИќЙуЗКЕФШсадЁЃЪзЯШПЩНЋЯЕЭГЗжНтЮЊШєИЩВуДЮЃЌЪЙЯЕЭГЙІФмЗжЩЂЃЌВЂЪЙИїВПЗжа­ЕїЖјгжАВШЋЕидЫзЊЃЌШЛКѓдйЭЈЙ§ШэЁЂгВМўНЋИїИіВуДЮгаЛњЕиСЊЯЕЦ№РДЃЌЪЙЦфадФмзюгХЁЂЙІФмзюЧПЁЃ1.8 ДјдДЛЏЁЁЁЁЪЧжИЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗздЩэДјгаФмдДЃЌШчЬЋбєФмЕчГиЁЂШМСЯЕчГиКЭДѓШнСПЕчГиЁЃгЩгкдкаэЖрГЁКЯЮоЗЈЪЙгУЕчФмЃЌвђЖјЖдгкдЫЖЏЕФЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗЃЌздДјЖЏСІдДОпгаЖРЬиЕФКУДІЁЃДјдДЛЏЪЧЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗЕФЗЂеЙЗНЯђжЎвЛЁЃ1.9 ТЬЩЋЛЏЁЁЁЁММЪѕЕФЗЂеЙИјШЫУЧЕФЩњЛюДјРДОоДѓБфЛЏЃЌдкЮяжЪЗсИЛЕФЭЌЪБвВДјРДзЪдДМѕЩйЁЂЩњЬЌЛЗОГЖёЛЏЕФКѓЙћЁЃЫљвдЃЌШЫУЧКєЛНБЃЛЄЛЗОГЃЌЛиЙщЃЌЪЕЯжПЩГжајЗЂеЙЃЌТЬЩЋВњЦЗИХФюдкетжжКєЩљжагІдЫЖјЩњЁЃТЬЩЋВњЦЗЪЧжИЕЭФмКФЁЂЕЭВФКФЁЂЕЭЮлШОЁЂЪцЪЪЁЂа­ЕїЖјПЩдйЩњРћгУЕФВњЦЗЁЃдкЦфЩшМЦЁЂжЦдьЁЂЪЙгУКЭЯњЛйЪБгІЗћКЯЛЗБЃКЭШЫРрНЁПЕЕФвЊЧѓЃЌЛњЕчвЛЬхЛЏВњЦЗЕФТЬЩЋЛЏжївЊЪЧжИдкЦфЪЙгУЪБВЛЮлШОЩњЬЌЛЗОГЃЌВњЦЗЪйУќНсЪјЪБЃЌВњЦЗПЩЗжНтКЭдйЩњРћгУЁЃ2 ЛњЕчвЛЬхЛЏММЪѕдкИжЬњжагІгУЁЁЁЁдкИжЬњЦѓвЕжаЃЌЛњЕчвЛЬхЛЏЯЕЭГЪЧвдЮЂДІРэЛњЮЊКЫаФЃЌАбЮЂЛњЁЂЙЄПиЛњЁЂЪ§ОнЭЈбЖЁЂЯдЪОзАжУЁЂвЧБэЕШММЪѕгаЛњЕФНсКЯЦ№РДЃЌВЩгУзщзАКЯВЂЗНЪНЃЌЮЊЪЕЯжЙЄГЬДѓЯЕЭГЕФзлКЯвЛЬхЛЏДДдьгаСІЬѕМўЃЌдіЧПЯЕЭГПижЦОЋЖШЁЂжЪСПКЭПЩППадЁЃЛњЕчвЛЬхЛЏММЪѕдкИжЬњЦѓвЕжажївЊгІгУгквдЯТМИИіЗНУцЃК2.1 жЧФмЛЏПижЦММЪѕ(IC)ЁЁЁЁгЩгкИжЬњОпгаДѓаЭЛЏЁЂИпЫйЛЏКЭСЌајЛЏЕФЬиЕуЃЌДЋЭГЕФПижЦММЪѕгіЕНСЫФбвдПЫЗўЕФРЇФбЃЌвђДЫЗЧГЃгаБивЊВЩгУжЧФмПижЦММЪѕЁЃжЧФмПижЦММЪѕжївЊАќРЈзЈМвЯЕЭГЁЂФЃК§ПижЦКЭЩёО­ЕШЃЌжЧФмПижЦММЪѕЙуЗКгкИжЬњЕФВњЦЗЩшМЦЁЂЩњВњЁЂПижЦЁЂЩшБИгыВњЦЗжЪСПеяЖЯЕШИїИіЗНУцЃЌШчИпТЏПижЦЯЕЭГЁЂЕчТЏКЭСЌж§ГЕМфЁЂдўИжЯЕЭГЁЂСЖИжЁЊЁЊЁЊСЌж§ЁЊЁЊЁЊдўИжзлКЯЕїЖШЯЕЭГЁЂРфСЌдўЕШЁЃ2.2 ЗжВМЪНПижЦЯЕЭГ(ЃФCS)ЁЁЁЁЗжВМЪНПижЦЯЕЭГВЩгУвЛЬЈжабыЛњжИЛгШєИЩЬЈУцЯђПижЦЕФЯжГЁВтПиМЦЫуЛњКЭжЧФмПижЦЕЅдЊЁЃЗжВМЪНПижЦЯЕЭГПЩвдЪЧСНМЖЕФЁЂШ§МЖЕФЛђИќЖрМЖЕФЁЃРћгУМЦЫуЛњЖдЩњВњЙ§ГЬНјааМЏжаМрЪгЁЂВйзїЁЂЙмРэКЭЗжЩЂПижЦЁЃЫцзХВтПиММЪѕЕФЃЌЗжВМЪНПижЦЯЕЭГЕФЙІФмдНРДдНЖрЁЃВЛНіПЩвдЪЕЯжЩњВњЙ§ГЬПижЦЃЌЖјЧвЛЙПЩвдЪЕЯждкЯпзюгХЛЏЁЂЩњВњЙ§ГЬЪЕЪБЕїЖШЁЂЩњВњМЦЛЎЭГМЦЙмРэЙІФмЃЌГЩЮЊвЛжжВтЁЂПиЁЂЙмвЛЬхЛЏЕФзлКЯЯЕЭГЁЃЃФCSОпгаЬиЕуПижЦЙІФмЖрбљЛЏЁЂВйзїМђБуЁЂЯЕЭГПЩвдРЉеЙЁЂЮЌЛЄЗНБуЁЂПЩППадИпЕШЬиЕуЁЃЃФCSЪЧМрЪгМЏжаПижЦЗжЩЂЃЌЙЪеЯУцаЁЃЌЖјЧвЯЕЭГОпгаСЌЫјБЃЛЄЙІФмЃЌВЩгУСЫЯЕЭГЙЪеЯШЫЙЄЪжЖЏПижЦВйзїДыЪЉЃЌЪЙЯЕЭГПЩППадИпЁЃЗжВМЪНПижЦЯЕЭГгыМЏжааЭПижЦЯЕЭГЯрБШЃЌЦфЙІФмИќЧПЃЌОпгаИќИпЕФАВШЋадЁЃЪЧЕБЧАДѓаЭЛњЕчвЛЬхЛЏЯЕЭГЕФжївЊГБСїЁЃ

2.3 ПЊЗХЪНПижЦЯЕЭГ(OCS)ЁЁЁЁПЊЗХПижЦЯЕЭГ(Open Control System)ЪЧМЦЫуЛњММЪѕЗЂеЙЫљв§ГіЕФаТЕФНсЙЙЬхЯЕИХФюЁЃЁАПЊЗХЁБвтЮЖзХЖдвЛжжБъзМЕФаХЯЂНЛЛЛЙцГЬЕФЙВЪЖКЭжЇГжЃЌАДДЫБъзМЩшМЦЕФЯЕЭГЃЌПЩвдЪЕЯжВЛЭЌГЇМвВњЦЗЕФМцШнКЭЛЅЛЛЃЌЧвзЪдДЙВЯэЁЃПЊЗХПижЦЯЕЭГЭЈЙ§ЙЄвЕЭЈаХЭјТчЪЙИїжжПижЦЩшБИЁЂЙмРэМЦЫуЛњЛЅСЊЃЌЪЕЯжПижЦгыО­гЊЁЂЙмРэЁЂОіВпЕФМЏГЩЃЌЭЈЙ§ЯжГЁзмЯпЪЙЯжГЁвЧБэгыПижЦЪвЕФПижЦЩшБИЛЅСЊЃЌЪЕЯжВтСПгыПижЦвЛЬхЛЏЁЃ2.4 МЦЫуЛњМЏГЩжЦдьЯЕЭГ(CIMS)ЁЁЁЁИжЬњЦѓвЕЕФCIMSЪЧНЋШЫгыЩњВњО­гЊЁЂЩњВњЙмРэвдМАЙ§ГЬПижЦСЌГЩвЛЬхЃЌгУвдЪЕЯжДгд­СЯНјГЇЃЌЩњВњМгЙЄЕНВњЦЗЗЂЛѕЕФећИіЩњВњЙ§ГЬШЋОжКЭЙ§ГЬвЛЬхЛЏПижЦЁЃФПЧАИжЬњЦѓвЕвбЛљБОЪЕЯжСЫЙ§ГЬздЖЏЛЏЃЌЕЋетжжЁАздЖЏЛЏЙТЕКЁБЪНЕФЕЅЛњздЖЏЛЏШБЗІаХЯЂзЪдДЕФЙВЯэКЭЩњВњЙ§ГЬЕФЭГвЛЙмРэЃЌФбвдЪЪгІИжЬњЩњВњЕФвЊЧѓЁЃЮДРДИжЬњЦѓвЕОКељЕФНЙЕуЪЧЖрЦЗжжЁЂаЁХњСПЩњВњЃЌжЪгХМлСЎЃЌМАЪБНЛЛѕЁЃЮЊСЫЬсИпЩњВњТЪЁЂНкФмНЕКФЁЂМѕЩйШЫдБМАЯжгаПтДцЃЌМгЫйзЪН№жмзЊЃЌЪЕЯжЩњВњЁЂО­гЊЁЂЙмРэећЬхгХЛЏЃЌЙиМќОЭЪЧМгЧПЙмРэЃЌЛёШЁБиаыЕФаЇвцЃЌЬсИпСЫЦѓвЕЕФОКељСІЁЃУРЙњЁЂШеБОЕШвЛаЉДѓаЭИжЬњЦѓвЕдк20ЪРМЭ80ФъДњвбЙуЗКЪЕЯжCIMSЛЏЁЃ2.5 ЯжГЁзмЯпММЪѕ(ЃЦBT)ЁЁЁЁЯжГЁзмЯпММЪѕ(ЃЦieЃф Bus Technology)ЪЧСЌНгЩшжУдкЯжГЁЕФвЧБэгыЩшжУдкПижЦЪвФкЕФПижЦЩшБИжЎМфЕФЪ§зжЪНЁЂЫЋЯђЁЂЖреОЭЈаХСДТЗЁЃВЩгУЯжГЁзмЯпММЪѕШЁДњЯжааЕФаХКХДЋЪфММЪѕ(Шч4ЁЋ20mAЃЌЃФCжБСїДЋЪф)ОЭФмЪЙИќЖрЕФаХЯЂдкжЧФмЛЏЯжГЁвЧБэзАжУгыИќИпвЛМЖЕФПижЦЯЕЭГжЎМфдкЙВЭЌЕФЭЈаХУНЬхЩЯНјааЫЋЯђДЋЫЭЁЃЭЈЙ§ЯжГЁзмЯпСЌНгПЩЪЁШЅ66%ЛђИќЖрЕФЯжГЁаХКХСЌНгЕМЯпЁЃЯжГЁзмЯпЕФв§ШыЕМжТЃФCSЕФБфИяКЭаТвЛДњЮЇШЦПЊЗХздЖЏЛЏЯЕЭГЕФЯжГЁзмЯпЛЏвЧБэЃЌШчжЧФмБфЫЭЦїЁЂжЧФмжДааЦїЁЂЯжГЁзмЯпЛЏМьВтвЧБэЁЂЯжГЁзмЯпЛЏPLC(Programmable Logic Controller)КЭЯжГЁОЭЕиПижЦеОЕШЕФЗЂеЙЁЃ2.6 НЛСїДЋЖЏММЪѕЁЁЁЁДЋЖЏММЪѕдкИжЬњЙЄвЕжаЦ№зїжСЙиживЊЕФзїгУЁЃЫцзХЕчСІММЪѕКЭЮЂЕчзгММЪѕЕФЗЂеЙЃЌНЛСїЕїЫйММЪѕЕФЗЂеЙЗЧГЃбИЫйЁЃгЩгкНЛСїДЋЖЏЕФгХдНадЃЌЕчЦјДЋЖЏММЪѕдкВЛОУЕФНЋРДгЩНЛСїДЋЖЏШЋУцШЁДњжБСїДЋЖЏЃЌЪ§зжММЪѕЕФЗЂеЙЃЌЪЙИДдгЕФЪИСППижЦММЪѕЪЕгУЛЏЕУвдЪЕЯжЃЌНЛСїЕїЫйЯЕЭГЕФЕїЫйадФмвбДяЕНКЭГЌЙ§жБСїЕїЫйЫЎЦНЁЃЯждкЮоТлДѓШнСПЕчЛњЛђжааЁШнСПЕчЛњЖМПЩвдЪЙгУЭЌВНЕчЛњЛђвьВНЕчЛњЪЕЯжПЩФцЦНЛЌЕїЫйЁЃНЛСїДЋЖЏЯЕЭГдкдўИжЩњВњжавЛГіЯжОЭЪмЕНгУЛЇЕФЛЖг­ЃЌгІгУВЛЖЯРЉДѓЁЃ